EPX系列干泵
概述
新的緊湊型 EPX500 高真空干泵的特性是：工作性能更佳，運行成本更低。EPX500 使用了獨特的專利保護機械裝置，能夠從大氣壓抽空到小于 7 x 10-5 Torr 的極限壓力。
模塊化 EPX500 基于備受贊譽、大獲成功的 IPX 系列，可提供卓越的性能，與 IPX 相比，包裝重量輕了 20%、體積小了 30% 且功率降低了 40%。
應用
EPX 系列涵蓋廣泛的應用，從水處理到中度工作負載的制程。
EPX“L”系列旨在用于泵送惰性氣體混合物（如負荷鎖定）且通過制程機臺接口提供控制的清潔工作應用。
功能和優勢
緊湊的占地面積 – 作為可用的Z小工具上泵之一，EPX 顯著節省了占地面積。EPX 可以直接安裝到工具上，從而節省了前級管道和安裝成本，如果需要也可遠程安裝。
低運行成本 - EPX 僅需要 1.4 kW 的功率和整合空閑模式，從而可Z大化功率效率。
獨特的專利保護機械裝置 – EPX 可以從大氣壓抽空到渦輪分子基準壓力，并可以在所有進氣口壓力下連續工作。
超清潔機械裝置 – 傳統的高真空軸承底油脂使用油脂潤滑，這可能成為制程工具中污染源。EPX 泵沒有高真空軸承底油脂，并且不存在任何其他的潛在污染源。
非?？煽?nbsp;– EPX 基于經過現場驗證的 IPX 技術，具有 13 年的 MTBFp (SEMI E10)，大約每 5 年維修一次，Z大程度地延長了泵的使用壽命。
可兼容的網絡 - EPX 系列配有Z終用戶控制，可以連接到各種結構的網絡，以進行診斷監視和控制。
技術數據
EPX180 | EPX500 | |
峰值速度 | 170 m3h-1 | 500 m3h-1 |
105 ft3min-1 | 295 ft3min-1 | |
2835 l min-1 | 8338 l min-1 | |
極限真空 | ||
<1 x 10-4 mbar | <1 x 10-6 mbar | |
<7.5 x 10-5 Torr | <7.5 x 10-7 Torr | |
<1 x 10-2 Pa | <1 x 10-4 Pa | |
預熱時間（達到標稱性能） | 30 分鐘 | 30 分鐘 |
入口法蘭 | ISO63 | ISO160 |
出口法蘭 | NW25 | NW25 |
噪音 | <59 dB(A) | <59 dB(A) |
Z小冷卻水流速 | 2 l m-1 | 2 lmin-1 |
冷卻水溫度 | 15 – 35 °C | 15 – 35°C |
電源供給 | 200/208 V，50/60 Hz 三相 | 200/208 V，50/60 Hz 三相 |
極限功率 | 1.4 kW | 1.4 kW |
電機額定功率 | 3.0 kW | 3.0 kW |
TIM | C3 | SPI |
重量 | 43.5 kg | 45.2 kg |
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