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無油干式機械愛發科真空泵油(又簡稱干式機械泵)是指泵能從大氣壓力下開始抽氣，又能將被抽氣體直接排到大氣中去，泵腔內無油或其他工作介質，而且泵的極限壓力與油封式真空泵同等量級或者接近的機械真空泵。 愛發科ulvac真空計
目前，真空行業使用的大多數機械真空泵都是用愛發科真空泵油、水或其它聚合物等流體充當泵的工作介質，在泵內起冷卻、密封、潤滑等多種作用。隨著科學技術的發展以及真空應用領域的擴大，原有的機械真空泵及其組成的抽氣系統出現了兩個急需解決問題：一是泵的工作介質返流污染被抽容器；其次，由于某些工藝過程中的反應物質使真空泵內的介質嚴重變質，使泵不能正常工作。
對于普通的無油真空系統愛發科真空泵油來說，雖然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之類附件來防止返流，但不能徹底解決問題，而且使系統顯得復雜。而使用適當型式的干式機械真空泵，則可以達到理想的使用效果。
愛發科真空泵油的應用是廣泛的，主要有以下幾個方面：
1)低壓化學氣相沉積中的多晶硅制備工藝中；
2)半導體刻蝕工藝。在這些生產工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒；
3)除半導體工藝外的某些產生微粒的工藝，不希望微?；烊氡糜椭?，而希望微粒排出泵外，則用一定型式的干式機械真空泵可以滿足要求；
4)在化學工業、醫藥工業、食品工業中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等，要防止有機溶劑造成污染，適合用干式真空泵；
5)用做一般無油清潔真空系統的前級泵，以防止油污染。
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